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AEG AM 56Z BA 4

AEG AM 56Z BA 4

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AEG

作为拥有36年以上历史的直流电源产品领先企业,AE 为全球成千上万的客户提供服务,通过下列优势、解决客户复杂的工艺问题,为客户创造价值:

  • 产品描述

AEG

 

  • 作为拥有36年以上历史的直流电源产品领先企业,AE 为全球成千上万的客户提供服务,通过下列优势、解决客户复杂的工艺问题,为客户创造价值:
  • 高产量
  • 靶材使用寿命的延长,利用率提高
  • 系统正常运行时间的延长
  • 应用支持人员
  • 全球支持能力

  • AE 的直流电源产品主要通过物理气相沉积市场上主要使用的物理气象沉积工艺——合金溅射以及与有反应气体参与的反应溅射,AE电源广泛应用于以下制造市场,包括:
     
  • 导体(铜、铝、钽、钛以及更新的异类材料)
  • 板显示器(薄膜晶体管、彩色滤光片、有机 LED)
  • 据存储(光存储、磁存储以及磁光存储相结合)
  • 阳能光伏电池(透明导电氧化物和硅沉积)
  • 筑玻璃
  • 进产品应用(用于光学装置、工具涂层、塑料等的薄膜)
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  • Litmas® RPS 1501和3001远程等离子源平台
  • Litmas® RPS 是采用高传导、低表面面积结构的完全整合远程感应式等离子源和供电系统。非常适合为晶圆预清洗、光致抗蚀剂剥离和原子层沉积 (ALD) 等工艺提供反应气体。此外,其大功率密度和高传导性使其成为后处理废气治理的理想平台。
  • Litmas RPS 可在不到3毫秒的时间内提供高达3 kW 的稳定射频功率,从而能够实现90 nm 和300 nm制程的快速变化。
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  • 优势
  • 特点
  • 减少了对易损设备结构的电荷损伤
  • 高反应活性物焊剂生成
  • 广泛的工艺化学范围
  • 快速匹配、稳定的供电
  • 持有成本降低
  • 增强终端用户工艺开发和输出量
  • 整合式电源、匹配和等离子腔室
  • 获得的 LitmasMatch™ 固态供电拓扑结构
  • 即插即用的安装
  • 极其广泛的匹配范围
  • 耐用的 SiO2 或 Al2O3 腔室材料
  • 尺寸小
  • 高的等离子功率密度
  • 源与源之间的变化极小
  • Litmas® RPS 前极管道 PFC 治理
  • Litmas® RPS 系统是一种前极管道治理解决方案,可减少半导体制程的全球变暖影响。这个高性能的线性感应式等离子源完全整合了2 MHz 电源和匹配电路。其在 CVD、蚀刻和灰化应用中的阻抗使用范围很广。
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  • 优势
  • 特点
  • 以很高的破坏效率,有效地治理对环境有害的 PFC 气体
  • 降低了总治理成本
  • 使前极管道的压力影响降至最低
  • 最大的功率效率和工艺灵活性
  • 在各种化学反应中始终如一的性能和可靠性
  • 无缝整合,无工艺影响
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  • Xstream® 远程等离子源
  • 高效 Xstream® 远程等离子源平台产生来自稳定的原料气体的中性活性种,用于表面改性、腔室清洗、薄膜蚀刻以及等离子辅助沉积。

    安装在工艺腔室外的 Xstream 平台整合了远程等离子源、6 kW 或8 kW 的高效电源以及获得的固态主动式匹配网络。该网络在一个腔室清洗源上拥有最宽的商业化阻抗运行范围。Xstream 远程等离子源让工艺工程师拥有无与伦比的反应气体工艺灵活性,从而提高了系统吞吐量,优化了昂贵资源的使用。
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  • 优点
  • 功能
  • 优化昂贵资源的使用
  • 提供最宽的商业化阻抗运行范围
  • 可在各种化学反应下无缝运行,包括现有的 PFC/O2 就地腔室清洗方法
  • 提高工艺性能、灵活性和吞吐量
  • 能够对就地和远程 VCD 腔室清洗进行简化改进
  • 利用之前获得的 AE 主动式匹配网络技术
  • 固态板上主动式匹配网络
  • 完全整合式高效400 kHz 电源
  • 可选的虚拟前面板 (VFP) 直观、即时、基于软件的用户界面
  • 耗水量小
  • 阳极硬化、细微粒、防腐金属源腔室
  • 可测量对等离子的实际供电之高级监控电路
  • 用于系统整合和监控的读回信号
  •  
  • AE Xstream 不允许在美国或欧洲销售。 
  • AEG
  • Advanced Energy Industries GmbH
  • AEG
  • AEG Power Solutions
  • AEG
  • AEG Power Solutions
  • AEG
  • rosystec GmbH(AEG Power)
  • AEG
  • AM 56Z BA 4
  • AEG
  • AM80ZBA4 NO.30126844 0020
  • AEG
  • AM71Z BA4
  • AEG
  • 0.37kw 8 pole AM90SAA8 AEG/Lafert
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
  • AEG
  • 1S 400-170 HRL1 2000000897
  • AEG
  • THYRO P -1P 400 495HF
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-100 H RL1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-60 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-45 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 1A 400-30 H RLP1
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-280 HF 1
  • AEG
  • 2.000.000.400
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RLP1-2.000.002.395
  • AEG
  • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RLP1
  • AEG
  • 2000000841 Busmodule Profibus DP
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-130 H 1
  • AEG
  • Thyro-S 1S 400-130 H RL1 - 2.000.000.896
  • AEG
  • Modell:AM 80Z CA 4 (B5 flange mounted )1.1KW
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-60 H 1 - 2.000.001.014
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-170 H RL1-2.000.001.077
  • AEG
  • Thyro-A 2A 400-495 HF RL1 - 2.000.002.359
  • AEG
  • 1S400-100H RL1
  • AEG
  • 2.000.000.400
  • AEG
  • Profibus-Steckkarte Nr:2.000.000.393
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-495HFASM
  • AEG
  • 1 Thyro-P Steuerger?t 2000000403
  • AEG
  • Thyro-A 2A400-130H1
  • AEG
  • Thyro-S 1S 400-45 H RL1-2.000.000.893
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-37HASM
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-280HFASM
  • AEG
  • Thyro-P 1P500-110HASM
  • AEG
  • Thyro-P 1P400-25HASM
  • AEG
  • THYRO P -1P 400 495HF
  • AEG
  • 6.000.016.474
  • AEG
  • Thyro-A 2A400-495HF RL1
  • AEG
  • 1S 400-130 H RL1
  • AEG
  • 1S 400-100 H RL1
  • AEG
  • AE 28 TDG 440D

 

AEG AM 56Z BA 4

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